高精度程控勻膠機 型號:QAZ12-SYSC-100C

一. 產品特點
1. 旋轉電機采用為勻膠機設計的高速伺服電機，具有高精度、高穩定性、高性。
2. 旋轉加速性能，大旋轉加速度*可達 40000rpm/s。
3. 真空系統采用雙重唇口式密封，緊密貼合包裹旋轉軸，吸片牢固，不掉片。
4. 兩項互鎖功能：
1) 勻膠腔體具有開啟、關閉的檢測功能，確保腔體關閉后才可啟動；
2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發生真空泄漏，則立即停止運行，確保吸片牢固。
5. 機身外殼采用 SUS304 不銹鋼制作，表面鍍鈦，防腐蝕、不生銹、易清潔。
6. 勻膠腔體采用德國勞士領 NPP 材料，經 CNC 一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入
真空管路和設備內部。耐腐蝕、易清潔。
7. 勻膠機涂膜腔體內有廢液排出孔。在涂膜過程中接儲脫離基片的廢液，并從排液孔排出。
8. 樣品臺采用德國勞士領 NPP 材料，經 CNC 一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
9. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程多可分十步進行，每步的加速時間、旋轉速度、
勻膠時間均可控制、連續可調。可儲存 30 組工藝程序，隨時調用。
10. 7英寸液晶觸摸屏使控制方便；運行狀態及各項參數實時顯示，直觀了解勻膠進程；
11. 真空泵的開啟與關閉均為自動程序控制，無需手動操作。
12. 旋轉前增加預吸片步驟，“預吸片時間"多為 99s，確保基片牢固吸附于旋轉臺后再進行旋轉涂
膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間"多為 99s，確保停止后再切斷真空，釋放
基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。
13. 標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉臺，防止飛片。

高精度程控勻膠機 型號:QAZ12-SYSC-100C

二. 技術參數
型號
參數 SYSC-100C
可鍍膜基片尺寸 圓形 ?5～100mm；方形 5×5～70×70mm
旋轉速度 0～10000rpm
轉速分辨率 1rpm
速度精度 ＜0.02%
旋涂加速度* 0～40000rpm/s
每步加速時間 0～999.9s
每步旋轉時間 0～9999.9s
旋轉時間分辨率 0.1s
預吸片時間 99s
解吸片時間 99s
腔體材料 勞士領 NPP 材料
樣品臺材料 勞士領 NPP 材料
真空系統密封方式 雙唇口密封裝置
驅動電機類型 工業級高速伺服電機
內置程序 50 組內置程序
旋轉控制方式 分步編程控制
保護 腔體開關互鎖以及真空壓力檢測保護
膠液排出通道 腔體底部膠液排出孔
真空泵開關方式 自動程序控制
電機保護 “WALL"構造防膠液浸入電機